超大尺寸半導(dǎo)體單晶硅棒生長方法及單晶硅棒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011433010.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN112553684A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號(hào) CN112553684A 申請公布日 2021-03-26
分類號(hào) C30B15/22(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 夏秋良;劉坤 申請（專利權(quán)）人 新美光（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 榮穎佳
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城NW-20#107、108、109、110
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種超大尺寸半導(dǎo)體單晶硅棒生長方法及單晶硅棒，涉及單晶硅加工技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明提供的超大尺寸半導(dǎo)體單晶硅棒生長方法，包括以下步驟：加熱單晶硅原料的底部，待單晶硅原料的底部熔化時(shí)向上拉制熔化的單晶硅原料；隨著單晶硅原料被拉升，減小對熔化的單晶硅原料的拉升速度。本發(fā)明提供的超大尺寸半導(dǎo)體單晶硅棒生長方法，可以在單晶硅棒的放肩部位形成弧形曲面，且可降低產(chǎn)生斷線的幾率。??