一種硅片轉(zhuǎn)移裝置及硅片測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910236940.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109904103B 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN109904103B 申請公布日 2021-09-03
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏秋良;范雪峰 申請（專利權）人 新美光（蘇州）半導體科技有限公司
代理機構 北京超凡宏宇專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 李強
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹東路188號方正科技園北區(qū)C幢103
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種硅片轉(zhuǎn)移裝置及硅片測試裝置，屬于半導體測試領域。硅片轉(zhuǎn)移裝置包括：本體、多個機械臂、吸附件。該多個機械臂分別獨立可轉(zhuǎn)動地連接于本體。該多個機械臂中的每一個機械臂包括桿體。其中，桿體的兩端分別與本體、吸附件連接，吸附件被構造來吸附硅片且允許硅片選擇性地脫吸附。該轉(zhuǎn)移裝置具有多種工作姿態(tài)，并且由此可以使控制的硅片進行多種姿態(tài)之間的按需轉(zhuǎn)換，以便達到配合適當設備對硅片進行諸如分選、檢測的操作。