一種坩堝組件及長(zhǎng)晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910208143.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109868503A 公開(kāi)（公告）日 2019-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN109868503A 申請(qǐng)公布日 2019-06-11
分類(lèi)號(hào) C30B15/12（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 夏秋良; 范雪峰 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 新美光（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蘇州新美光納米科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城NW-20#107、108、109、110
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種坩堝組件及長(zhǎng)晶爐，涉及晶體生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該坩堝組件包括石英坩堝、石墨坩堝以及隔離層，石英坩堝設(shè)于石墨坩堝內(nèi)，隔離層設(shè)于石英坩堝與石墨坩堝之間，隔離層用于阻隔石英坩堝與石墨坩堝發(fā)生接觸反應(yīng)。該長(zhǎng)晶爐包括爐體、用于提拉和旋轉(zhuǎn)籽晶的提拉旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，以及上述的坩堝組件，坩堝組件位于爐體內(nèi)，長(zhǎng)晶爐還包括環(huán)設(shè)于坩堝組件的石墨坩堝外部的加熱器，其中，坩堝組件的石英坩堝內(nèi)用于容納原料。該坩堝組件能夠降低石墨坩堝的氧化侵蝕速度，進(jìn)而增加了石墨坩堝的使用壽命，同時(shí)降低了單晶硅棒內(nèi)的碳氧堆積，提高了單晶硅棒的整體質(zhì)量。