一種壓力控制方法、系統(tǒng)、終端及存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111679836.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114415749A 公開（公告）日 2022-04-29
申請公布號 CN114415749A 申請公布日 2022-04-29
分類號 G05D16/20（2006.01）I;G05B13/02（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 羅新銘;闕石男 申請（專利權(quán)）人 蘇州艾方芯動自動化設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 何爽
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)渭塘鎮(zhèn)澄陽路3366號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種壓力控制方法、系統(tǒng)、終端及存儲介質(zhì)，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)通過改變電磁閥的數(shù)量來實現(xiàn)壓力的變化，容易在反復(fù)的電磁閥裝卸操作中造成人力的浪費，同時容易導(dǎo)致產(chǎn)品的測試效率低的問題的問題，其技術(shù)方案是一種壓力控制算法，包括：獲取針對當(dāng)前批次的待測產(chǎn)品預(yù)執(zhí)行的壓力測試流程；獲取待測產(chǎn)品當(dāng)前的第一測試壓力，基于所述第一測試壓力獲取由第一測試壓力躍升至下一梯級的第二測試壓力所需的第一壓力差；將所述第一測試壓力與第一壓力差組合為輸入?yún)?shù)，并輸入預(yù)設(shè)的模糊控制器中，獲取所述模糊控制器輸出的控制參數(shù)，本申請具有提高對產(chǎn)品進行壓力測試的過程中壓力控制的效率的效果。