多模穴測(cè)試座結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210390319.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114740230A 公開(kāi)（公告）日 2022-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN114740230A 申請(qǐng)公布日 2022-07-12
分類(lèi)號(hào) G01R1/04（2006.01）I;F16J15/06（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 周建松;鍾政峰;闕石男 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州艾方芯動(dòng)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專(zhuān)利代理有限公司 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)渭塘鎮(zhèn)澄陽(yáng)路3366號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及晶片測(cè)試裝置的領(lǐng)域，尤其是涉及一種多模穴測(cè)試座結(jié)構(gòu)，其包括金屬載盤(pán)，承載著多個(gè)待測(cè)晶片；承載組件，包括載臺(tái)，金屬載盤(pán)以接觸式安裝該載臺(tái)上；壓合組件，包括壓合座，壓合座位于壓合組件底部；壓合座面對(duì)載臺(tái)的表面嵌設(shè)網(wǎng)狀密封墊，網(wǎng)狀密封墊于壓合座表面形成多個(gè)網(wǎng)格區(qū)，壓合座另設(shè)有多個(gè)定位柱，金屬載盤(pán)上也設(shè)有多個(gè)對(duì)應(yīng)孔，在操作壓合座壓合于載臺(tái)上，定位柱位于對(duì)應(yīng)孔內(nèi)，且由網(wǎng)狀密封墊與金屬載盤(pán)接觸，讓每個(gè)網(wǎng)格區(qū)對(duì)應(yīng)一個(gè)待測(cè)晶片且形成一獨(dú)立的封閉空間。本申請(qǐng)具有盡可能保證晶片測(cè)試的精度的效果。