等離子體傳輸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210194844.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114574807A 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN114574807A 申請公布日 2022-06-03
分類號 C23C14/22;C23C14/48 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曹時義;王俊鋒 申請（專利權(quán)）人 廣東鼎泰高科技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 劉光明
地址 523071 廣東省東莞市厚街鎮(zhèn)赤嶺工業(yè)一環(huán)路12號之一2號樓102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種等離子體傳輸裝置，包括傳輸管道和偏壓供電裝置，等離子體從傳輸管道的入口端進(jìn)入傳輸管道并從傳輸管道的出口端輸出，傳輸管道包括至少兩個沿其周向間隔分布的電極板；偏壓供電裝置用于對各電極板進(jìn)行偏壓供電并切換各電極板的供電狀態(tài)以使傳輸管道的等離子體在向外運(yùn)動和向內(nèi)運(yùn)動之間來回改變，從而防止傳輸管道的等離子體中的負(fù)電粒子始終向外運(yùn)動撞擊掛壁使管壁呈負(fù)電而破壞管壁的導(dǎo)電性，進(jìn)而提高傳輸管道的傳輸性能的穩(wěn)定性。由于傳輸管道的等離子體在軸壁間來回運(yùn)動使等離子體之間相互碰撞，提高等離子體的離化效率。此外，通過偏壓供電裝置對各電極板供電，結(jié)構(gòu)簡單，能夠有效降低等離子體傳輸裝置的成本。