多晶硅生產(chǎn)控制系統(tǒng)及控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011521983.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112624121B 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN112624121B 申請公布日 2021-09-28
分類號 C01B33/035 分類 無機化學;
發(fā)明人 吉紅平;施光明;王琳;李宇辰;何乃棟;郭光偉;陳宏博;蒲澤軍 申請（專利權(quán)）人 青海省亞硅硅材料工程技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 趙世發(fā);王鋒
地址 810000 青海省西寧市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)金硅路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種多晶硅生產(chǎn)控制系統(tǒng)及控制方法。所述多晶硅生產(chǎn)控制系統(tǒng)包括與還原爐配合的控制裝置；所述控制裝置包括電壓檢測模塊、邏輯模塊和執(zhí)行模塊；所述電壓檢測模塊至少用于檢測還原爐的電壓參數(shù)，并將所述電壓參數(shù)發(fā)送至邏輯模塊；所述邏輯模塊至少用于判斷所述電壓參數(shù)是否發(fā)生波動或異常，并將判斷結(jié)果發(fā)送至執(zhí)行模塊；所述執(zhí)行模塊至少用于在所述電壓參數(shù)被判定為發(fā)生波動或異常的情況下，調(diào)整還原爐的進料配比。本發(fā)明提供的多晶硅生產(chǎn)控制系統(tǒng)及控制方法，能夠第一時間發(fā)現(xiàn)還原爐內(nèi)是否有異常情況，進料配比是否合適，并能及時加以調(diào)整，大大減少硅棒生長異常，出現(xiàn)魚鱗狀、夾層、無定形硅等異常料的產(chǎn)出，提升產(chǎn)品質(zhì)量。