多片大面積單面或雙面超導(dǎo)薄膜基片夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610182836.7 申請日 -
公開（公告）號 CN105734564B 公開（公告）日 2018-06-26
申請公布號 CN105734564B 申請公布日 2018-06-26
分類號 C23C26/00;H01L39/24 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王三勝 申請（專利權(quán)）人 北京鼎臣世紀(jì)超導(dǎo)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中企鴻陽知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉葛;郭鴻雁
地址 100094 北京市海淀區(qū)永豐產(chǎn)業(yè)基地永澤北路7號院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于利用化學(xué)溶液法批量化生產(chǎn)大面積單面或雙面超導(dǎo)薄膜技術(shù)領(lǐng)域，目的是提供一種使用方便、提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本的新型多片大面積單面或雙面超導(dǎo)薄膜基片夾具，基片夾包括多個半圓形固定夾具和半圓形活動夾具，實現(xiàn)了一次燒制多片超導(dǎo)薄膜基片，提高了超導(dǎo)薄膜的生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，不損傷樣品，同時保證了樣品的批次一致性。使用時先用鑷子夾持基片放入半圓形固定夾具的第一固定爪內(nèi)，用鑷子固定，然后將半圓形活動夾具與半圓形固定夾具扣合，使基片處于基片夾的四個固定爪內(nèi)，將第一連接耳和第二連接耳固定在一起，即可將半圓形活動夾具與半圓形固定夾具組裝在一起，無需進(jìn)行多余的調(diào)整，安裝非常方便，節(jié)約了安裝時間。