一種類(lèi)金剛石鍍膜方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810108215.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108330443A 公開(kāi)（公告）日 2018-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN108330443A 申請(qǐng)公布日 2018-07-27
分類(lèi)號(hào) C23C14/06;C23C14/46 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王三勝 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京鼎臣世紀(jì)超導(dǎo)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 姜海榮
地址 100000 北京市海淀區(qū)永豐產(chǎn)業(yè)基地永澤北路7號(hào)院4號(hào)樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種類(lèi)金剛石鍍膜方法，其鍍膜步驟包括：提供一襯底，將其清洗后放入真空腔室內(nèi)，將真空腔抽真空，然后通入氬氣，打開(kāi)輔源對(duì)襯底進(jìn)行離子束清洗；然后以石墨為靶材，打開(kāi)主源，對(duì)石墨靶材進(jìn)行清洗；最后調(diào)整好主源和輔源的能量參數(shù)，打開(kāi)擋板在襯底上鍍一層類(lèi)金剛石薄膜。通過(guò)本發(fā)明制造的類(lèi)金剛石具有高附著力并且本發(fā)明操作簡(jiǎn)單便捷。