一種半導(dǎo)體制造用機械手臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821201252.0 申請日 -
公開（公告）號 CN208629451U 公開（公告）日 2019-03-22
申請公布號 CN208629451U 申請公布日 2019-03-22
分類號 B25J11/00（2006.01）I; B25J15/08（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 劉金章; 楊欣澤 申請（專利權(quán)）人 北京蜃景光電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃彩榮
地址 100000 北京市海淀區(qū)中關(guān)村大街甲38號1號樓B座16層089號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種半導(dǎo)體制造用機械手臂，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，該半導(dǎo)體制造用機械手臂，包括第一機械臂、第二機械臂、橫置滑軌以及固定連接板，第一機械臂的底部和第二機械臂的底部均滑動設(shè)置在橫置滑軌上，固定連接板的一端與第一機械臂的底端連接，固定連接板的另一端與第二機械臂的底端連接，以使第一機械臂和第二機械臂同步運動，第一機械臂的頂端設(shè)置有第一裝夾機構(gòu)，第二機械臂的頂端設(shè)置有第二裝夾機構(gòu)。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型提供的一種半導(dǎo)體制造用機械手臂，在夾取晶圓的過程中能夠使得晶圓受力均勻，避免夾取時損壞晶圓，提高了晶圓質(zhì)量。