帶有復(fù)合鈍化膜的大功率器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210046231.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103295974A 公開（公告）日 2013-09-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN103295974A 申請(qǐng)公布日 2013-09-11
分類號(hào) H01L23/29(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許志峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京弘高創(chuàng)意建筑設(shè)計(jì)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 代理人 江蘇東光微電子股份有限公司;宜興市東晨電子科技有限公司
地址 214205 江蘇省無錫市宜興新街百合工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種帶有復(fù)合鈍化膜的大功率器件，在大功率器件的PN結(jié)表面，從內(nèi)至外依次為多晶硅薄膜（1）、摻氧多晶硅薄膜SIPOS（2）、玻璃（3）和氧化硅薄膜（4）。本發(fā)明的帶有復(fù)合鈍化膜的大功率器件，相比于傳統(tǒng)的PN結(jié)表面單一玻璃鈍化防護(hù)層的結(jié)構(gòu)，采用PN結(jié)表面多層防護(hù)結(jié)構(gòu)，由于其對(duì)于界面所有電荷具有自動(dòng)調(diào)節(jié)、補(bǔ)償、屏蔽、消除作用，徹底消除了擊穿電壓突變現(xiàn)象，使器件在高溫、高濕、強(qiáng)電場(chǎng)等惡劣條件下也能長時(shí)間工作；并且相比傳統(tǒng)的PN結(jié)表面玻璃鈍化層可提高PN結(jié)的擊穿電壓。