一種晶圓加工用可調(diào)式定位夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022495967.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213647161U 公開(kāi)（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN213647161U 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) B24B41/06（2012.01）I;B28D7/04（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 殷澤安;殷志鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州譯品芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尹均利
地址 215143江蘇省蘇州市相城區(qū)黃埭鎮(zhèn)春旺路12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓加工用可調(diào)式定位夾具，包括第一夾塊，所述第一夾塊的外側(cè)固定有第一側(cè)板，所述第一夾塊的外側(cè)固定有第二側(cè)板，所述第一側(cè)板與第二側(cè)板大小相同，所述第一側(cè)板的外側(cè)固定有連接板，所述第一側(cè)板通過(guò)連接板與第二側(cè)板相互連接，所述第一夾塊的上端開(kāi)設(shè)有第一橡膠卡槽，所述第一夾塊的上端固定有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)，所述第一螺紋桿的外側(cè)設(shè)置有第二夾塊。該晶圓加工用可調(diào)式定位夾具，將第三夾塊外側(cè)的第二滑塊沿著第二滑槽滑動(dòng)至合適的位置，通過(guò)第一滑槽與第一滑塊的滑動(dòng)連接對(duì)第三夾塊進(jìn)行限位處理，擰緊第三旋鈕對(duì)第二滑塊的位置進(jìn)行固定，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶棒的位置調(diào)整處理。