一種芯片表面檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921147772.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210442278U 公開（公告）日 2020-05-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN210442278U 申請(qǐng)公布日 2020-05-01
分類號(hào) G01N21/88;G01N21/01 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 殷澤安;殷志鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州譯品芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215143 江蘇省蘇州市相城區(qū)黃埭鎮(zhèn)春旺路12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種芯片表面檢測(cè)裝置，包括支撐腳，所述支撐腳的上端固定連接有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上端面上固定安裝有放置臺(tái)，工作臺(tái)上方通過(guò)連接桿固定安裝有底板，所述底板上設(shè)置安裝有移動(dòng)座，所述移動(dòng)座由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)，移動(dòng)座的下端面上固定安裝有相機(jī)和一組光源，所述光源環(huán)形陣列分布在相機(jī)的四周，工作臺(tái)上轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有防護(hù)罩，所述防護(hù)罩上設(shè)置安裝有自動(dòng)開合機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型是一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，自動(dòng)化程度高，可減輕認(rèn)為誤差提高檢測(cè)準(zhǔn)確率的芯片表面檢測(cè)裝置。