一種晶圓加工用切面拋光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022493564.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214559899U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214559899U 申請公布日 2021-11-02
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 殷澤安;殷志鵬 申請（專利權(quán)）人 蘇州譯品芯半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 北京化育知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尹均利
地址 215143江蘇省蘇州市相城區(qū)黃埭鎮(zhèn)春旺路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓加工用切面拋光裝置，其技術(shù)方案是：包括箱體，所述箱體頂端固定連接有電機，所述箱體內(nèi)部設(shè)有拋光機構(gòu)，一種晶圓加工用切面拋光裝置有益效果是：本實用新型通過拋光機構(gòu)的設(shè)計，當電機正轉(zhuǎn)時帶動轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動帶動套筒和皮帶裝置轉(zhuǎn)動，皮帶裝置帶動伸縮桿和打磨片移動，且轉(zhuǎn)動軸與第一往復(fù)絲桿不轉(zhuǎn)動，當電機反轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)動軸帶動第一往復(fù)絲桿和第二往復(fù)絲桿轉(zhuǎn)動，第一往復(fù)絲桿帶動第一軸承座和連接板移動，此時連接板帶動伸縮桿上下移動第二往復(fù)絲桿帶動第二軸承座、豎桿和方形伸縮桿移動，方形伸縮桿帶動真空吸盤移動，真空吸盤頂部吸附有晶圓，從而對晶圓有效進行打磨。