一種用于光線曝光中心的定位裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020107955.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211180530U | 公開（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申請公布號 | CN211180530U | 申請公布日 | 2020-08-04 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 陳斌 | 申請（專利權(quán)）人 | 北京捷安特技術(shù)服務(wù)有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京智行陽光知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 北京捷安特技術(shù)服務(wù)有限公司 |
| 地址 | 101400北京市懷柔區(qū)九渡河鎮(zhèn)黃坎村731號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型屬于光線曝光技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種用于光線曝光中心的定位裝置，包括曝光頭，所述曝光頭下方設(shè)有導(dǎo)光連接座，所述導(dǎo)光連接座上設(shè)有光罩，所述導(dǎo)光連接座下方設(shè)有調(diào)節(jié)支座，所述導(dǎo)光連接座外側(cè)壁固定連接有輔助側(cè)框，所述輔助側(cè)框內(nèi)側(cè)滑動連接有兩個支撐側(cè)桿，兩個所述支撐側(cè)桿呈對稱分布，兩個所述支撐側(cè)桿底部均固定連接有定位板；當(dāng)調(diào)節(jié)支座上的工件與光罩傾斜時，調(diào)節(jié)支座調(diào)節(jié)角度，可以使兩個支撐側(cè)桿在調(diào)節(jié)槽內(nèi)滑動，連接桿的作用能夠使兩個支撐側(cè)桿一起移動，使定位板的端面貼合在調(diào)節(jié)支座的端面上，從而可以校正調(diào)節(jié)支座的角度，使調(diào)節(jié)支座上的工件與光罩平行，能夠提高調(diào)整角度的精準度和曝光作業(yè)的效果。?? |
