一種用于生長大表面帶狀硅的引晶拉制方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010062746.0 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN111172588A | 公開(公告)日 | 2020-05-19 |
申請公布號 | CN111172588A | 申請公布日 | 2020-05-19 |
分類號 | C30B28/10;C30B29/06 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 葛文星;趙建;雍兵 | 申請(專利權(quán))人 | 江蘇雙良新能源裝備有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 江陰市揚(yáng)子專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 江蘇雙良新能源裝備有限公司 |
地址 | 214444 江蘇省無錫市江陰市臨港街道西利路115號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種用于生長大表面帶狀硅的引晶拉制方法,具體為:固定在軟軸或硬軸下端的籽晶與多晶硅材料熔化得到的硅溶液接觸,利用毛細(xì)作用引拉出一層與接觸面等距的實(shí)體硅;實(shí)體硅脫離硅液溫度下降逐步凝固成固體形成狹長地帶,繼續(xù)通過利用軟軸或硬軸驅(qū)動向上持續(xù)凝固固體,形成與模具相同的大表面帶狀硅;生長結(jié)束后取出生長的帶狀硅,簡單切除籽晶和帶狀硅產(chǎn)品中間的狹長硅帶。本發(fā)明的用于生長大表面帶狀硅的引晶拉制方法,通過簡單切除引晶時(shí)狹長硅帶即可實(shí)現(xiàn)小接觸面積的籽晶與帶狀硅產(chǎn)品分離,同時(shí)小接觸面積的籽晶仍可繼續(xù)使用,提高生產(chǎn)效率、節(jié)約生產(chǎn)成本。 |
