脈沖激光沉積三維加熱臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921802768.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN211142143U 公開(公告)日 2020-07-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN211142143U 申請(qǐng)公布日 2020-07-31
分類號(hào) C23C14/28(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張曉軍;朱新華;胡凱;代瑞娜 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市矩陣多元科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市華優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 余薇
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道朗山路28號(hào)通產(chǎn)新興產(chǎn)業(yè)園3號(hào)廠房1樓北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及脈沖激光沉積技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種脈沖激光沉積三維加熱臺(tái)。所述脈沖激光沉積三維加熱臺(tái),包括加熱平臺(tái)、波紋管、維修旋鈕、水平位移機(jī)構(gòu)、垂直位移機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、樣品托和控制電機(jī)。本技術(shù)方案通過水平位移機(jī)構(gòu)、垂直位移機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)加熱平臺(tái)進(jìn)行水平位移、垂直位移和旋轉(zhuǎn),以實(shí)現(xiàn)加熱臺(tái)的三維立體加熱功能,同時(shí)通過控制樣品托上下移動(dòng)以裝入、取出以及固定樣品進(jìn)行加熱,提升了加熱臺(tái)的使用便捷性和工作效率。通過波紋管和維修旋鈕的組合結(jié)構(gòu),可方便快捷地將加熱平臺(tái)拉出腔體以進(jìn)行維修或更換。??