一種激光入射窗口保護(hù)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921961180.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211142144U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211142144U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-31 |
| 分類號(hào) | C23C14/28(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張曉軍;李炳坤;胡凱;代瑞娜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳市矩陣多元科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市華優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 余薇 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道朗山路28號(hào)通產(chǎn)新興產(chǎn)業(yè)園3號(hào)廠房1樓北側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型適用于激光脈沖沉積技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種激光入射窗口保護(hù)裝置，用于保護(hù)激光入射窗口，包括：第一法蘭、固定設(shè)置在所述第一法蘭上的第二法蘭、以及固定設(shè)置在所述第二法蘭上的第三法蘭；所述第二法蘭中間位置上設(shè)有一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)輸出端連接一石英組件，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)輸出端與所述石英組件設(shè)置在所述第二法蘭內(nèi)部，所述第三法蘭固定設(shè)置在所述腔體上；所述石英組件包括：與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接的圓盤(pán)構(gòu)件以及設(shè)置在所述圓盤(pán)構(gòu)件上的多個(gè)石英玻璃片，所述圓盤(pán)構(gòu)件中間位置與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)輸出端固定連接，圓盤(pán)構(gòu)件上設(shè)有多個(gè)通孔，多個(gè)石英玻璃片設(shè)置在所述多個(gè)通孔內(nèi)。本實(shí)用新型能提高激光透射效率和穩(wěn)定性，減少污染。?? |
