一種手套箱內(nèi)清理MO源粉塵的裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202021691989.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN215654390U | 公開(公告)日 | 2022-01-28 |
申請公布號 | CN215654390U | 申請公布日 | 2022-01-28 |
分類號 | B01D47/02(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學的方法或裝置; |
發(fā)明人 | 黃海川;魏巍;鄒貴 | 申請(專利權(quán))人 | 安徽亞格盛電子新材料有限公司 |
代理機構(gòu) | 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 胡定華 |
地址 | 241000安徽省蕪湖市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)赤鑄山路26號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型提供一種手套箱內(nèi)清理MO源粉塵的裝置,包括手套箱,所述手套箱的左側(cè)設(shè)置有兩個吸附罐體和真空泵,吸附罐體上均設(shè)置有管道I和管道II且從右到左的管道I和管道II上依次設(shè)置有調(diào)節(jié)閥I、調(diào)節(jié)閥II、調(diào)節(jié)閥III和調(diào)節(jié)閥IV,調(diào)節(jié)閥I和調(diào)節(jié)閥IV上均設(shè)置有管道,調(diào)節(jié)閥II和調(diào)節(jié)閥III通過管道相連接,手套箱內(nèi)設(shè)置有橫向的波紋軟管,波紋軟管與手套箱外的管道III相連接,管道III與管道通過設(shè)置的調(diào)節(jié)閥V相連接,真空泵上連接有頂端設(shè)置調(diào)節(jié)閥VI的管道,調(diào)節(jié)閥IV和調(diào)節(jié)閥VI通過管道相連接;本實用新型不僅大大提高了手套箱的潔凈程度也保證了產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量。 |
