一種手套箱內(nèi)清理MO源粉塵的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021691989.2 申請日 -
公開（公告）號 CN215654390U 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN215654390U 申請公布日 2022-01-28
分類號 B01D47/02（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 黃海川;魏巍;鄒貴 申請（專利權(quán)）人 安徽亞格盛電子新材料有限公司
代理機構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡定華
地址 241000安徽省蕪湖市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)赤鑄山路26號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種手套箱內(nèi)清理MO源粉塵的裝置，包括手套箱，所述手套箱的左側(cè)設(shè)置有兩個吸附罐體和真空泵，吸附罐體上均設(shè)置有管道I和管道II且從右到左的管道I和管道II上依次設(shè)置有調(diào)節(jié)閥I、調(diào)節(jié)閥II、調(diào)節(jié)閥III和調(diào)節(jié)閥IV，調(diào)節(jié)閥I和調(diào)節(jié)閥IV上均設(shè)置有管道，調(diào)節(jié)閥II和調(diào)節(jié)閥III通過管道相連接，手套箱內(nèi)設(shè)置有橫向的波紋軟管，波紋軟管與手套箱外的管道III相連接，管道III與管道通過設(shè)置的調(diào)節(jié)閥V相連接，真空泵上連接有頂端設(shè)置調(diào)節(jié)閥VI的管道，調(diào)節(jié)閥IV和調(diào)節(jié)閥VI通過管道相連接；本實用新型不僅大大提高了手套箱的潔凈程度也保證了產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量。