一種乙硅烷分析后處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021712667.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213375925U 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN213375925U 申請公布日 2021-06-08
分類號 B01D53/76（2006.01）I;B01D53/72（2006.01）I;B01D47/06（2006.01）I;B01D29/00（2006.01）I;B01D35/02（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 李強強;俞冬雷;鄭銳 申請（專利權(quán)）人 安徽亞格盛電子新材料有限公司
代理機構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡定華
地址 241009安徽省蕪湖市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)赤鑄山路26號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種乙硅烷分析后處理裝置，包括水噴淋頭、單向閥、尾氣管、尾氣處理箱，單向閥設(shè)置在尾氣管的中部，尾氣管設(shè)置在尾氣處理箱的中部，水噴淋頭設(shè)置在尾氣處理箱的上端，尾氣處理箱下端設(shè)置有固廢排出管，固廢排出管的末端設(shè)置有廢液槽，尾氣處理箱上設(shè)置有排液管，排液管連接尾氣處理箱和廢液槽，尾氣處理箱上設(shè)置有空氣壓縮機，通過空氣壓縮機向尾氣處理箱內(nèi)施加壓力。通過水隔絕乙硅烷與空氣，保證尾氣管的管口暢通，排液管始終有水流出，尾氣處理箱內(nèi)的液面恒定，尾氣管在液面以下的固定位置保證了水對尾氣管的管口的壓力始終相同，且僅有單一固廢生成，且固廢對環(huán)境無害，在水中易沉降，經(jīng)水淋洗、導(dǎo)出易處理。