連續(xù)多通道檢測(cè)MO源濃度的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111057147.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113834907A 公開(kāi)(公告)日 2021-12-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113834907A 申請(qǐng)公布日 2021-12-24
分類號(hào) G01N33/00(2006.01)I;G01G19/52(2006.01)I;G01N35/00(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 鄭銳;彭真;王宏波;俞冬雷 申請(qǐng)(專利權(quán))人 安徽亞格盛電子新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊靜
地址 241000安徽省蕪湖市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)赤鑄山路26號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的目的是提供一種連續(xù)多通道檢測(cè)MO源濃度的裝置,包括有至少四個(gè)源瓶,所有的源瓶共同通過(guò)進(jìn)管路一連接有氮?dú)饩彌_罐;所有的源瓶通過(guò)測(cè)試閥共同連接有測(cè)試管路,測(cè)試管路末端連接有濃度測(cè)試儀,濃度測(cè)試儀連接有末端管路;所有的源瓶通過(guò)排出閥共同連接有旁通管路,旁通管路連接著緩沖罐;末端管路上連接有第一吸收罐和第二吸收罐,緩沖罐也連接在末端管路上;所有的源瓶與氮?dú)饩彌_罐之間還通過(guò)進(jìn)管路二進(jìn)行連接,進(jìn)管路二連接有并聯(lián)的流量計(jì)一和壓力控制器。通過(guò)增加旁通管路與測(cè)試管路分開(kāi)以達(dá)到連續(xù)測(cè)試的目的。