一種薄膜晶體管的對位檢測方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201010239799.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN102347255B | 公開（公告）日 | 2013-07-03 |
| 申請公布號 | CN102347255B | 申請公布日 | 2013-07-03 |
| 分類號 | H01L21/66 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 邱啟明 | 申請（專利權）人 | 深圳華映顯示科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 深圳中一專利商標事務所 | 代理人 | 張全文 |
| 地址 | 350000福建省福州市馬尾區(qū)儒江西路6號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種薄膜晶體管的對位檢測方法，包括提供一定義有一元件區(qū)與一測試區(qū)的基板、在該基板上形成一第一導電層、對該第一導電層進行一第一圖案化工藝形成一薄膜晶體管的一柵極電極以及一測試元件的一第一端與一第二端、在該基板上形成一第一絕緣層、在該第一絕緣層內(nèi)形成一對應該第一端與該第二端的第一接觸洞、在該元件區(qū)內(nèi)形成一像素電極與該測試元件的一連接電極、對該測試元件進行一通路/斷路測試。當該測試元件具有一通路時，判定該薄膜晶體管的膜層的對位準確；當該測試元件具有一斷路時，判定該薄膜晶體管的膜層的對位不準確。 |
