一種用于管式PECVD設備的特氣管路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022643742.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214361679U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214361679U 申請公布日 2021-10-08
分類號 C23C16/455（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉明華 申請（專利權）人 江蘇潤陽光伏科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 224000江蘇省鹽城市建湖縣經濟開發(fā)區(qū)北京路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于管式PECVD設備的特氣管路，包括直線主管和Y型支管，Y型支管無縫固定于直線主管的一端，直線主管上設置有兩個流量控制器，其中一個位于直線主管的管口處，另一個靠近Y型支管，所述Y型支管包括呈Y型分布的兩個氣管，兩個氣管上朝交叉方向內的側壁上開有成排的特氣孔。該特氣管路是對設備現(xiàn)有特氣管路進行的改進，可直接設置應用在大管徑雙舟的PECVD設備中，用于解決鍍膜爐管內中間部位的特氣供應不均的問題，進而有效改善石墨舟內硅片鍍膜的膜厚均勻性和顏色，而且通過雙流量控制器的設置精準的控制降低氨氣和硅烷耗量，解決石墨舟片間膜厚極差大的問題。