一種MEMS結(jié)構(gòu)的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910415705.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110113699A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN110113699A 申請公布日 2021-06-29
分類號 H04R19/04 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 劉端 申請（專利權(quán)）人 安徽奧飛聲學科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 230092 安徽省合肥市高新區(qū)習友路3333號中國（合肥）國際智能語音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓611-91室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種制造MEMS（微機電系統(tǒng)）結(jié)構(gòu)的方法，包括：在襯底的正面上沉積形成壓電復合振動層；在壓電復合振動層的中間區(qū)域沉積形成質(zhì)量塊；蝕刻壓電復合振動層的外圍區(qū)域以形成貫穿壓電復合振動層的多個第一通孔；在壓電復合振動層的外部，在露出的襯底上蝕刻形成第一凹槽；蝕刻襯底的背面以形成鄰近第一凹槽的空腔，第一凹槽設置在空腔的外圍，壓電復合振動層形成在空腔正上方，其中，位于第一凹槽與空腔之間的部分的襯底支撐壓電復合振動層。該方法使得位于第一凹槽和空腔之間的部分襯底材料支撐壓電復合振動層，提高了壓電復合振動層在聲壓作用下的位移和形變，降低了殘余應力，進而提高了MEMS結(jié)構(gòu)的靈敏度。