一種MEMS結(jié)構(gòu)及其形成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911099149.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110798788B 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN110798788B 申請公布日 2021-05-11
分類號 H04R19/04 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 劉端 申請（專利權(quán)）人 安徽奧飛聲學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 230092 安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路3333號中國（合肥）國際智能語音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓611-91室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種MEMS結(jié)構(gòu)的形成方法，包括：在襯底的正面形成第一犧牲層和突出于所述襯底外的支柱，并且所述第一犧牲層的頂面與所述支柱的頂面平齊；在所述支柱和所述第一犧牲層上方形成壓電復(fù)合振動層；去除所述第一犧牲層形成空腔。該MEMS結(jié)構(gòu)采用支柱支撐壓電復(fù)合振動層，從而有利于提高M(jìn)EMS結(jié)構(gòu)的靈敏度。