一種MEMS結(jié)構(gòu)的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910415705.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110113699B 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN110113699B 申請公布日 2021-06-29
分類號 H04R19/04（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 劉端 申請（專利權(quán)）人 安徽奧飛聲學(xué)科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 230092安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路3333號中國（合肥）國際智能語音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓611-91室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種制造MEMS（微機電系統(tǒng)）結(jié)構(gòu)的方法，包括：在襯底的正面上沉積形成壓電復(fù)合振動層；在壓電復(fù)合振動層的中間區(qū)域沉積形成質(zhì)量塊；蝕刻壓電復(fù)合振動層的外圍區(qū)域以形成貫穿壓電復(fù)合振動層的多個第一通孔；在壓電復(fù)合振動層的外部，在露出的襯底上蝕刻形成第一凹槽；蝕刻襯底的背面以形成鄰近第一凹槽的空腔，第一凹槽設(shè)置在空腔的外圍，壓電復(fù)合振動層形成在空腔正上方，其中，位于第一凹槽與空腔之間的部分的襯底支撐壓電復(fù)合振動層。該方法使得位于第一凹槽和空腔之間的部分襯底材料支撐壓電復(fù)合振動層，提高了壓電復(fù)合振動層在聲壓作用下的位移和形變，降低了殘余應(yīng)力，進而提高了MEMS結(jié)構(gòu)的靈敏度。