太陽能電池硅片擴散爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120159647.0 申請日 -
公開（公告）號 CN202099414U 公開（公告）日 2012-01-04
申請公布號 CN202099414U 申請公布日 2012-01-04
分類號 C30B31/16(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 呂定先 申請（專利權(quán)）人 湖南華威太陽能高科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 425000 湖南省永州市鳳凰園經(jīng)濟開發(fā)區(qū)林蔭路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種有效改善硅片表面方塊電阻均勻性的太陽能電池硅片擴散爐，包括爐體、設(shè)置在所述爐體內(nèi)的石英舟、用于使擴散氣體進入所述爐體內(nèi)的進氣管和擴散處理后排放尾氣的排放管；所述進氣管位于所述石英舟的上方，設(shè)有多個進氣孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，設(shè)有多個排放孔，所述石英舟底面設(shè)有多個流通孔，以便進氣管進入的擴散氣體通過流通孔從排放孔排出，使得擴散氣體沿著平行于硅片表面的方向流動，從而有效地改善了硅片表面方塊電阻的均勻性。