一種磁控濺射靶的屏蔽板調(diào)節(jié)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721022038.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN207227540U | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-04-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207227540U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-04-13 |
| 分類號(hào) | C23C14/35 | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 尹忠樂(lè);李術(shù)杰;應(yīng)世強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東南海農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司桂城支行 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州科粵專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 佛山市南海區(qū)晶鼎泰機(jī)械設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 528200 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)獅中村西工業(yè)區(qū)梁錦平的廠房自編1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種磁控濺射靶的屏蔽板調(diào)節(jié)裝置，包括屏蔽板和底座；所述屏蔽板的表面的中間部位設(shè)置有用于安裝靶材的避空孔；在所述避空孔的外側(cè)還設(shè)置有至少兩個(gè)用于安裝調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的安裝孔；所述底座位于所述屏蔽板的敞口端的下方；所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是用于連接所述底座和屏蔽板的；所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括支撐桿、壓緊塊、支撐塊和定位壓緊螺釘；所述支撐桿的一端與所述底座抵觸，另一端伸出屏蔽板的表面；所述壓緊塊設(shè)置有用于安裝定位壓緊螺釘?shù)念A(yù)留孔；所述支撐塊設(shè)置在所述屏蔽板的表面的內(nèi)側(cè)；所述壓緊塊從所述屏蔽板的表面外側(cè)伸入屏蔽板的表面內(nèi)側(cè)、并與所述支撐塊配合安裝。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、連接點(diǎn)少、絕緣點(diǎn)少和安裝便捷等優(yōu)點(diǎn)。 |
