雙柵結(jié)構的石墨烯場效應晶體管生物傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911273053.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112986355A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112986355A 申請公布日 2021-06-18
分類號 G01N27/327 分類 測量；測試;
發(fā)明人 林本慧 申請（專利權）人 福建海峽石墨烯產(chǎn)業(yè)技術研究院有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市晉江市羅山街道世紀大道南段3001號創(chuàng)意創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了雙柵結(jié)構的石墨烯場效應晶體管生物傳感器，生物傳感器包括石墨烯場效應晶體管和生物傳感區(qū)，所述生物傳感區(qū)通過導線與石墨烯場效應晶體管的頂柵極連接，生物傳感區(qū)上修飾生物識別分子層；制備方法：以金屬箔為基底，生長石墨烯薄膜，將石墨烯薄膜轉(zhuǎn)移至襯底上，作為石墨烯溝道層；在石墨烯溝道層的兩端形成源電極和漏電極；在石墨烯溝道層上沉積頂柵極；通過導線連接生物感應區(qū)與頂柵極；在生物傳感區(qū)域上修飾生物分子識別層。本發(fā)明將石墨烯場效應晶體管與生物傳感區(qū)域隔離，二者通過導線連接，測量的穩(wěn)定性和靈敏度高，且石墨烯場效應晶體管可以重復使用，將大大降低檢測成本。