超結器件及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911098451.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112864219A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112864219A 申請公布日 2021-05-28
分類號 H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曾大杰 申請（專利權）人 南通尚陽通集成電路有限公司
代理機構 上海浦一知識產權代理有限公司 代理人 郭四華
地址 226000江蘇省南通市崇川區(qū)崇川路79號國際青創(chuàng)園1號樓18層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超結器件，超結器件所包括的超結結構包括至少一個由第一超結子結構和第二超結子結構縱向疊加而成的第三超結子結構。第三超結子結構的第一導電類型子柱三由第一導電類型子柱一和第一導電類型子柱二縱向疊加而成，第三超結子結構的第二導電類型子柱三由第二導電類型子柱一和第二導電類型子柱二縱向疊加而成；第二導電類型子柱一由第一溝槽之間的外延層組成，而頂部的第二導電類型子柱二是由填充于第二溝槽之間的外延層組成；第一導電類型子柱一由填充于第一溝槽中的外延層組成，而第一導電類型子柱二則直接第二溝槽之間的外延層組成；本發(fā)明還公開了一種超結器件的制造方法。本發(fā)明能增加器件的反向恢復的軟度因子。??