超結(jié)器件及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911098287.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112864246A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112864246A 申請公布日 2021-05-28
分類號 H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曾大杰 申請（專利權(quán)）人 南通尚陽通集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郭四華
地址 226000江蘇省南通市崇川區(qū)崇川路79號國際青創(chuàng)園1號樓18層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超結(jié)器件，超結(jié)器件各原胞形成于對應(yīng)的超結(jié)單元上，包括：溝道區(qū)和平面柵，柵漏電容為由平面柵對頂部漂移區(qū)和底部的第一導(dǎo)電類型柱進(jìn)行縱向耗盡形成的電容。超結(jié)單元中，第二導(dǎo)電類型柱會(huì)對第一導(dǎo)電類型柱進(jìn)行橫向耗盡，在保持超結(jié)單元的電荷平衡或使第二導(dǎo)電類型摻雜總量多以保證擊穿電壓滿足要求的條件下，超結(jié)單元的頂部區(qū)域中的第二導(dǎo)電類型柱的寬度設(shè)置為小于第一導(dǎo)電類型柱的寬度，以增加平面柵對第一導(dǎo)電類型柱的縱向耗盡并從而增加?xùn)怕╇娙?。本發(fā)明還公開了一種超結(jié)器件的制造方法。本發(fā)明能增加器件的柵漏電容，能有效降低器件在應(yīng)用電路中的電磁干擾以及有效降低器件在應(yīng)用電路中帶來的電流和電壓的過沖。??