超結(jié)結(jié)構(gòu)及超結(jié)器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911280302.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112993007A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112993007A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) H01L29/06;H01L29/872;H01L29/78 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周翔 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南通尚陽(yáng)通集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郭四華
地址 226000 江蘇省南通市崇川區(qū)崇川路79號(hào)國(guó)際青創(chuàng)園1號(hào)樓18層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種超結(jié)結(jié)構(gòu)，超結(jié)結(jié)構(gòu)為由第一薄層和第二薄層交替排列而成的自然超結(jié)結(jié)構(gòu)；第一薄層由具有自發(fā)極化的氮化鎵材料組成，第二薄層的材料為不同于氮化鎵的半導(dǎo)體材料且第二薄層的材料也具有自發(fā)極化，利用第一薄層和第二薄層的自發(fā)極化特性在第一薄層和第二薄層的界面處形成束縛電荷，束縛電荷有利于吸引載流子并在界面處形成導(dǎo)電溝道。本發(fā)明還公開(kāi)了一種超結(jié)器件。本發(fā)明能形成電荷完全平衡的氮化鎵的超結(jié)結(jié)構(gòu)，同時(shí)具有低比導(dǎo)通電阻和高擊穿電壓的優(yōu)勢(shì)。