超結(jié)器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911098268.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112864244A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112864244A 申請公布日 2021-05-28
分類號 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曾大杰 申請（專利權(quán)）人 南通尚陽通集成電路有限公司
代理機構(gòu) 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郭四華
地址 226000江蘇省南通市崇川區(qū)崇川路79號國際青創(chuàng)園1號樓18層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超結(jié)器件，在電荷流動區(qū)中，超結(jié)器件至少包括第一原胞，第一原胞包括：位于第一導(dǎo)電類型柱的頂部區(qū)域中且和第二導(dǎo)電類型柱具有間距的第一溝道區(qū)。第一柵極結(jié)構(gòu)覆蓋第一溝道區(qū)，源區(qū)形成于第一溝道區(qū)的表面，源區(qū)的頂部通過穿過層間膜的接觸孔連接到由正面金屬層組成的源極，第二導(dǎo)電類型柱的頂部未連接電極而在超結(jié)器件動態(tài)工作時呈浮置結(jié)構(gòu)。本發(fā)明能增加器件的柵漏電容，能有效降低器件在應(yīng)用電路中的電磁干擾以及有效降低器件在應(yīng)用電路中帶來的電流和電壓的過沖。??