超結(jié)器件
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911098268.2 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN112864244A | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-05-28 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN112864244A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
分類(lèi)號(hào) | H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 曾大杰 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 南通尚陽(yáng)通集成電路有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 郭四華 |
地址 | 226000江蘇省南通市崇川區(qū)崇川路79號(hào)國(guó)際青創(chuàng)園1號(hào)樓18層 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種超結(jié)器件,在電荷流動(dòng)區(qū)中,超結(jié)器件至少包括第一原胞,第一原胞包括:位于第一導(dǎo)電類(lèi)型柱的頂部區(qū)域中且和第二導(dǎo)電類(lèi)型柱具有間距的第一溝道區(qū)。第一柵極結(jié)構(gòu)覆蓋第一溝道區(qū),源區(qū)形成于第一溝道區(qū)的表面,源區(qū)的頂部通過(guò)穿過(guò)層間膜的接觸孔連接到由正面金屬層組成的源極,第二導(dǎo)電類(lèi)型柱的頂部未連接電極而在超結(jié)器件動(dòng)態(tài)工作時(shí)呈浮置結(jié)構(gòu)。本發(fā)明能增加器件的柵漏電容,能有效降低器件在應(yīng)用電路中的電磁干擾以及有效降低器件在應(yīng)用電路中帶來(lái)的電流和電壓的過(guò)沖。?? |
