一種烘干結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920066908.0 申請日 -
公開（公告）號 CN210425801U 公開（公告）日 2020-04-28
申請公布號 CN210425801U 申請公布日 2020-04-28
分類號 F26B9/06;F26B21/04;F26B21/14;F26B25/00 分類 干燥;
發(fā)明人 戴洪燁 申請（專利權）人 無錫釜川科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 梁永昌
地址 200000 上海市嘉定區(qū)澄瀏公路52號39幢2樓J1078室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種烘干結(jié)構(gòu)，包括烘干槽體，所述烘干槽體呈上開口的結(jié)構(gòu)，所述烘干槽體內(nèi)放置有帶硅片的載具，所述烘干槽體外設有上開口的加熱系統(tǒng)，所述烘干槽體的底部設有連同加熱系統(tǒng)的通風孔，形成上開口的循環(huán)烘干結(jié)構(gòu)，所述循環(huán)烘干結(jié)構(gòu)的開口上設有活動蓋板。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊，烘干效率得到大幅提升，傳統(tǒng)烘干系統(tǒng)需要600秒烘干時間，采用結(jié)構(gòu)烘干系統(tǒng)只需要200秒即可；且本實用新型體積小，可安裝在設備內(nèi)部，烘干效率較傳統(tǒng)烘干系統(tǒng)有大幅度提升。