一種硅片載具檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120069511.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214203621U 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN214203621U 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王相軍;梁建;戴洪燁;魚科軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫釜川科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京專贏專利代理有限公司 代理人 于剛
地址 201808上海市嘉定區(qū)徐行鎮(zhèn)武鄉(xiāng)路89號(hào)1幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片載具檢測(cè)裝置，包括機(jī)械手勾取組件、載具、感應(yīng)部和磁鐵部，所述機(jī)械手勾取組件上固定安裝有感應(yīng)部，所述感應(yīng)部的底部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有旋轉(zhuǎn)軸，所述磁鐵部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在旋轉(zhuǎn)軸上，所述感應(yīng)部與磁鐵部通過磁感應(yīng)方式傳輸信號(hào)，所述載具上固定安裝有橫桿，所述機(jī)械手勾取組件與載具卡接配合，通過感應(yīng)部和磁鐵部磁感應(yīng)方式進(jìn)行壓籃檢測(cè)，不受環(huán)境內(nèi)霧氣等干擾條件影響，能夠顯著提高檢測(cè)的可靠性，同時(shí)此檢測(cè)裝置反應(yīng)靈敏，能及時(shí)異常做出反應(yīng)，有效降低因異常帶來的設(shè)備或產(chǎn)品損害。