一種用于半導(dǎo)體封裝的全自動(dòng)壓力固化設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210057169.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114076522A 公開（公告）日 2022-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114076522A 申請(qǐng)公布日 2022-02-22
分類號(hào) F27B17/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 胡凌驍;楊子俠;張君;張辰星;張丁;趙子龍;段青鵬;閆旭宏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中電科風(fēng)華信息裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原科衛(wèi)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 武建云
地址 030024山西省太原市和平南路115號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體封裝的全自動(dòng)壓力固化設(shè)備，包括高溫壓力爐和輸送機(jī)構(gòu)；所述高溫壓力爐包括基座（101），所述基座（101）上通過后支架（102）固定安裝爐體（103），所述基座（101）上通過前支架（104）安裝用于密封爐體一側(cè)敞口端的爐蓋（105），所述爐體（103）內(nèi)滑動(dòng)安裝有托架（106），所述托架（106）一端固定安裝于爐蓋（105）上，所述托架（106）由爐蓋（105）拉出于爐體（103）外。本發(fā)明與原有技術(shù)相比，實(shí)現(xiàn)了高溫壓力爐的自動(dòng)化連續(xù)生產(chǎn)，并通過將風(fēng)機(jī)電機(jī)布置在爐壁側(cè)面解決了加長(zhǎng)高溫壓力爐的溫度均勻性問題。