一種三維顯微成像的方法及其成像光路結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111268755.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114047619A 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN114047619A 申請公布日 2022-02-15
分類號 G02B21/00（2006.01）I;G02B21/36（2006.01）I;G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 吳洪坤;朱干軍;高昆;謝旭凱;王旭東 申請（專利權(quán)）人 中電科風華信息裝備股份有限公司
代理機構(gòu) 合肥律通專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙春海
地址 030000山西省太原市萬柏林區(qū)和平南路115號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種三維顯微成像的方法及其成像光路結(jié)構(gòu)，照明光源通過照明光闌形成點光源或通過狹縫形成線光源，經(jīng)過第一透鏡形成準直光束，再經(jīng)起偏器使光束偏振方向調(diào)整為預(yù)設(shè)的方向，最后經(jīng)分光鏡反射進入照明主光路；光束依形成平行光束；經(jīng)偏光棱鏡分出兩束偏振方向互相垂直的光束，兩束光通過顯微物鏡投射在待檢測的樣品表面；兩束光在樣品表面形成兩束反射光，并逆向重新合為一個光束，被探測器捕獲并記錄；結(jié)合掃描點的二維移動或掃描線的一維移動，合成高分辨率樣品表面圖像。該方法結(jié)合混合應(yīng)用相襯技術(shù)和空間門控方法，層掃能力和三維方向都有較好分辨率，通過疊加成像方法，使得樣品表面的劃痕和凹/凸點的成像更清晰。