一種用于半導(dǎo)體設(shè)備前端集成晶圓的分揀裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122641834.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216094907U | 公開（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216094907U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類號(hào) | B07C5/02（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I | 分類 | 將固體從固體中分離；分選; |
| 發(fā)明人 | 朱干軍;王旭東;高昆;胡贇;吳洪坤;郭晉竹 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中電科風(fēng)華信息裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律通專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 趙春海 |
| 地址 | 030000山西省太原市萬柏林區(qū)和平南路115號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體設(shè)備前端集成晶圓的分揀裝置，包括晶圓盒位置掃描臺(tái)、位于晶圓盒位置掃描臺(tái)一側(cè)的晶圓檢測(cè)承載臺(tái)，所述晶圓盒位置掃描臺(tái)上設(shè)置有至少一個(gè)待檢晶圓盒，所述待檢晶圓盒內(nèi)放置有待檢晶圓，所述晶圓盒位置掃描臺(tái)和晶圓檢測(cè)承載臺(tái)之間設(shè)置有晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，所述晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的兩側(cè)分別設(shè)置有調(diào)整待檢晶圓放置位置的晶圓位置預(yù)矯正器和放置已檢晶圓的晶圓分揀模塊。本實(shí)用新型通過設(shè)置晶圓搬運(yùn)機(jī)器人實(shí)現(xiàn)待檢測(cè)晶圓由上料、位置校正、檢測(cè)、下料等工位的連續(xù)、自動(dòng)取放及分類歸集，極大提升了檢測(cè)效率，減少了晶圓在分級(jí)分類等二次操作中被污染的風(fēng)險(xiǎn)。 |
