一種用于半導(dǎo)體設(shè)備前端集成晶圓的分揀裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122641834.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216094907U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216094907U 申請公布日 2022-03-22
分類號 B07C5/02（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 朱干軍;王旭東;高昆;胡贇;吳洪坤;郭晉竹 申請（專利權(quán)）人 中電科風(fēng)華信息裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥律通專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙春海
地址 030000山西省太原市萬柏林區(qū)和平南路115號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于半導(dǎo)體設(shè)備前端集成晶圓的分揀裝置，包括晶圓盒位置掃描臺、位于晶圓盒位置掃描臺一側(cè)的晶圓檢測承載臺，所述晶圓盒位置掃描臺上設(shè)置有至少一個待檢晶圓盒，所述待檢晶圓盒內(nèi)放置有待檢晶圓，所述晶圓盒位置掃描臺和晶圓檢測承載臺之間設(shè)置有晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，所述晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的兩側(cè)分別設(shè)置有調(diào)整待檢晶圓放置位置的晶圓位置預(yù)矯正器和放置已檢晶圓的晶圓分揀模塊。本實用新型通過設(shè)置晶圓搬運(yùn)機(jī)器人實現(xiàn)待檢測晶圓由上料、位置校正、檢測、下料等工位的連續(xù)、自動取放及分類歸集，極大提升了檢測效率，減少了晶圓在分級分類等二次操作中被污染的風(fēng)險。