三位一體多晶硅定向結(jié)晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200820059254.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN201241198Y 公開（公告）日 2009-05-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN201241198Y 申請(qǐng)公布日 2009-05-20
分類號(hào) C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I;B22D27/04(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 潘健武 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海今科新能源材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智信專利代理有限公司 代理人 胡美強(qiáng)
地址 200233上海市桂箐路69弄30號(hào)樓5E
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種三位一體多晶硅定向結(jié)晶爐，包括：坩堝(7)；所述的坩堝(7)是無(wú)底復(fù)合陶瓷坩堝或水冷坩堝；在坩堝(7)的二側(cè)安置感應(yīng)圈(6)；在坩堝(7)的上部安置一個(gè)等離子槍(9)；所述的坩堝(7)、感應(yīng)圈(6)以及等離子槍(9)的前端安置在一個(gè)密封的爐(20)中；在容器(20)的上端側(cè)旁設(shè)置一個(gè)加料口(11)；本實(shí)用新型的有益效果是：可以對(duì)硅材料實(shí)施提純工藝，又具有多晶硅定向結(jié)晶鑄錠的功能。