三為一體多晶硅定向結(jié)晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810038393.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101591805A 公開（公告）日 2009-12-02
申請公布號 CN101591805A 申請公布日 2009-12-02
分類號 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I;F27B14/04(2006.01)I;F27B14/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 潘健武 申請（專利權(quán)）人 上海今科新能源材料科技有限公司
代理機構(gòu) 上海智信專利代理有限公司 代理人 胡美強
地址 200233上海市桂箐路69弄30號樓5E
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種三為一體多晶硅定向結(jié)晶爐，包括：坩堝(7)；所述的坩堝(7)是無底復(fù)合陶瓷坩堝或水冷坩堝；在坩堝(7)的二側(cè)安置感應(yīng)圈(6)；在坩堝(7)的上部安置一個等離子槍(9)；所述的坩堝(7)、感應(yīng)圈(6)以及等離子槍(9)的前端安置在一個密封的爐(20)中；在容器(20)的上端側(cè)旁設(shè)置一個加料口(11)；本發(fā)明的有益效果是：可以對硅材料實施提純工藝，又具有多晶硅定向結(jié)晶鑄錠的功能。