一種鼓泡供源柜

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121145064.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214744972U 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN214744972U 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) F17C13/08（2006.01）I;F17C13/02（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 鄭少賓;甘澤光;黃加政 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳融科半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶百潤(rùn)洪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉澤正
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道錦龍二路5號(hào)陽光科技園E-4棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及特殊供氣源瓶?jī)?chǔ)存技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種鼓泡供源柜，包括柜體，柜體中設(shè)有水平隔板，水平隔板將柜體分隔成上控制柜和下源瓶柜，上控制柜中設(shè)有豎向隔板，豎向隔板將上控制柜分隔成內(nèi)控制區(qū)和外控制區(qū)，外控制區(qū)和下源瓶柜中均設(shè)有煙霧探測(cè)器，外控制區(qū)的頂部管道連接尾氣處理裝置，外控制區(qū)中設(shè)有氣體檢測(cè)器，下源瓶柜中設(shè)有瓶體固定組件，柜體的底部安裝有移動(dòng)裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，將空氣置換、負(fù)壓顯示、鋼瓶放置平臺(tái)、鋼瓶固定裝置集成于一體，空氣置換保證了安全性，負(fù)壓顯示實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)顯示，很大程度上解決了源瓶存儲(chǔ)放置及運(yùn)輸?shù)膯栴}，安全性高，實(shí)用性強(qiáng)。