一種源瓶輸送柜

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121147463.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214744973U 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN214744973U 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) F17C13/08（2006.01）I;F17C13/02（2006.01）I;F17C13/04（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I;F17D5/06（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 鄭少賓;甘澤光;胡云霞 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳融科半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶百潤(rùn)洪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉澤正
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道錦龍二路5號(hào)陽(yáng)光科技園E-4棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及特殊供氣源瓶?jī)?chǔ)存技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種源瓶輸送柜，包括柜體及柜門，所述柜體的頂部設(shè)有電氣控制箱和指示燈，所述柜體中設(shè)有源瓶，所述源瓶的上方設(shè)有閥門控制組件，所述柜體管道連接尾氣處理裝置，所述尾氣處理裝置、指示燈和閥門控制組件均與所述電氣控制箱電連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的一種源瓶輸送柜，集成了空氣置換、負(fù)壓顯示、鋼瓶放置于一體的設(shè)備，空氣置換保證了安全性，負(fù)壓顯示實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)顯示。很大程度上解決了雙瓶源液柜的存儲(chǔ)放置問題，防止特殊氣體泄露，使得源液柜變得方便安全，并且大大減少了設(shè)備的占地面積，節(jié)約工廠建設(shè)成本。