一種帶源液罐三甲基鋁蒸發(fā)輸送設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020841222.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212881057U 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN212881057U 申請公布日 2021-04-06
分類號 B01D1/00(2006.01)I;B01D1/30(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 鄭少賓;可建;聶慶慶;梁顯寧 申請（專利權）人 深圳融科半導體裝備有限公司
代理機構 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 代理人 沈鋒
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道錦龍二路5號陽光科技園E-4棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型源液蒸發(fā)柜領域，尤其涉及一種帶源液罐三甲基鋁蒸發(fā)輸送設備，一種帶源液罐三甲基鋁蒸發(fā)輸送設備，包括：柜體，設置在柜體中的緩沖罐、源液罐、蒸發(fā)器、真空發(fā)生器，若干輸出管閥和掃吹管閥，以及設置在柜體外殼體上的微控制器；采用本實用新型，源液罐配合緩沖罐實現(xiàn)了帶源蒸發(fā)柜的應用，并且通過緩沖罐實現(xiàn)了源液罐的在線更換；源液罐與緩沖罐出液端設有液體流量計，手動隔膜閥后段設置有氣體流量計，配合微控制器，實現(xiàn)信息的數(shù)據(jù)化采集，并信號控制真空發(fā)生器與蒸發(fā)器，顯示操作的信息化與自動化。??