一種中紅外雙波段帶通濾光片及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010104444.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111175874B 公開（公告）日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN111175874B 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類號(hào) G02B5/20（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/32（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 岳威;張闊;劉連澤;韓永昶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京華北萊茵光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天江律師事務(wù)所 代理人 任崇
地址 100020北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋路2號(hào)院內(nèi)11所3號(hào)樓4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種中紅外雙波段帶通濾光片及其制備方法，一種中紅外雙波段帶通濾光片，包括基底和形成在基底兩側(cè)表面上的帶通濾光膜、負(fù)濾光膜；該濾光片的膜系結(jié)構(gòu)為：8^（LH）9^（HL）|Si|（LH）^9（HL）^3H；其中，Sub為基底，L為SiO膜層，H為Ge膜層。一種中紅外雙波段帶通濾光片的制備方法，包括以下步驟：在基底上單面鍍制帶通濾光膜；在基底另一面鍍制負(fù)濾光膜。本發(fā)明主要針對(duì)3μm～5μm中紅外波段提供一種3.7－4.1μm以及4.55－4.8μm雙波段帶通濾波同時(shí)抑制4.26μm附近干擾能量的介質(zhì)薄膜涂層，其本身具有高透射率、雙波段帶通、可靠性好，環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)的特性。