金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)觸摸屏精細(xì)線路的加工方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110596182.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113253873A 公開（公告）日 2021-08-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN113253873A 申請(qǐng)公布日 2021-08-13
分類號(hào) G06F3/041（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/10（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23F1/02（2006.01）I;C23F1/18（2006.01）I;C23F1/26（2006.01）I;C23F1/28（2006.01）I;B05D7/24（2006.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 傅志敏;鄭建萬;秦重虎;張莉;黃勇祥;劉永生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 宜昌南玻顯示器件有限公司
代理機(jī)構(gòu) 宜昌市三峽專利事務(wù)所 代理人 高陽
地址 443000湖北省宜昌市自貿(mào)區(qū)宜昌片區(qū)發(fā)展大道57-5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)觸摸屏精細(xì)線路的加工方法，包括以下步驟：選擇最小線寬加工能力為10um的曝光設(shè)備作為加工設(shè)備；先在金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)觸摸屏的玻璃基材或PET膜材上鍍上一層金屬膜層，對(duì)已鍍金屬膜層的產(chǎn)品利用黃光工藝在整面涂覆一層光刻膠，再經(jīng)過紫外曝光工藝和顯影工藝加工出11um的光刻膠保護(hù)線路，對(duì)顯影后的產(chǎn)品進(jìn)行烘烤堅(jiān)膜；對(duì)烘烤后產(chǎn)品進(jìn)行酸液蝕刻和光刻膠脫膜；通過涂布設(shè)備，在產(chǎn)品整面涂布一層有機(jī)材料保護(hù)層，再經(jīng)過曝光顯影和烘烤工序，在產(chǎn)品的表面形成一層有機(jī)材料保護(hù)層。本發(fā)明利用在10um曝光能力的設(shè)備條件下，制備出5um線寬的金屬線路，達(dá)到金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)觸摸屏對(duì)金屬線路的基本要求。