連續(xù)均勻鍍膜的調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910779665.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110373648B 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN110373648B 申請公布日 2021-06-04
分類號 C23C14/54;C23C14/34 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 方鳳軍;何建軍;崔繼文;李會社;杜圣峰 申請（專利權）人 宜昌南玻顯示器件有限公司
代理機構 宜昌市三峽專利事務所 代理人 成鋼
地址 443000 湖北省宜昌市自貿(mào)區(qū)宜昌片區(qū)發(fā)展大道57-5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種連續(xù)均勻鍍膜的調(diào)節(jié)方法，通過光度計、橢偏儀或臺階儀測試當前玻璃上各位置的膜層厚度，進而掌握膜厚變化規(guī)律；在旋轉陰極的A管與CM3腔室邊緣處，加裝光電感應器；光電感應器與控制器電連接，控制器與旋轉陰極電連接；當鍍膜框架KJ1到達光電感應器的位置時，計時器計時“0”秒，根據(jù)掌握的膜厚變化規(guī)律，降低或升高A管的轉速r；降低轉速r會降低濺射率s，從而降低鍍膜厚度，升高轉速r會增加濺射率s，從而增加鍍膜厚度；實現(xiàn)行進方向膜厚均勻性的精細調(diào)節(jié)。