連續(xù)均勻鍍膜的調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910779665.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110373648A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN110373648A 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類(lèi)號(hào) C23C14/54;C23C14/34 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 方鳳軍;何建軍;崔繼文;李會(huì)社;杜圣峰 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 宜昌南玻顯示器件有限公司
代理機(jī)構(gòu) 宜昌市三峽專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 成鋼
地址 443000 湖北省宜昌市自貿(mào)區(qū)宜昌片區(qū)發(fā)展大道57-5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種連續(xù)均勻鍍膜的調(diào)節(jié)方法，通過(guò)光度計(jì)、橢偏儀或臺(tái)階儀測(cè)試當(dāng)前玻璃上各位置的膜層厚度，進(jìn)而掌握膜厚變化規(guī)律；在旋轉(zhuǎn)陰極的A管與CM3腔室邊緣處，加裝光電感應(yīng)器；光電感應(yīng)器與控制器電連接，控制器與旋轉(zhuǎn)陰極電連接；當(dāng)KJ1到達(dá)光電感應(yīng)器的位置時(shí)，計(jì)時(shí)器計(jì)時(shí)“0”秒，根據(jù)掌握的膜厚變化規(guī)律，降低或升高A管的轉(zhuǎn)速r；降低轉(zhuǎn)速r會(huì)降低濺射率s，從而降低鍍膜厚度，升高轉(zhuǎn)速r會(huì)增加濺射率s，從而增加鍍膜厚度；實(shí)現(xiàn)行進(jìn)方向膜厚均勻性的精細(xì)調(diào)節(jié)。