一種圖形化藍(lán)寶石襯底的回收方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510021864.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105845786A 公開（公告）日 2016-08-10
申請公布號 CN105845786A 申請公布日 2016-08-10
分類號 H01L33/00(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡紅坡;劉英策;袁述 申請（專利權(quán)）人 廣東量晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 廣東量晶光電科技有限公司
地址 528200 廣東省佛山市南海區(qū)平洲金谷光電社區(qū)A座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種圖形化藍(lán)寶石襯底的回收方法，包括以下步驟：在氮?dú)夂?或氫氣的氣氛下，對LED外延片進(jìn)行高溫烘烤，去除圖形化藍(lán)寶石襯底上的外延層；使用氫氧化鉀溶液和/或氫氧化鈉溶液，對高溫烘烤后的圖形化藍(lán)寶石襯底進(jìn)行腐蝕；使用超純水對腐蝕后的圖形化藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，從而得到能夠重新使用的圖形化藍(lán)寶石襯底，極大地提高了圖形化藍(lán)寶石襯底的利用率，進(jìn)而降低了LED芯片的生產(chǎn)成本。此外，該方法簡單易行，安全方便，回收周期短，效果好。