一種藍(lán)寶石襯底圖形化制作的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611225598.X 申請日 -
公開（公告）號 CN106816506A 公開（公告）日 2017-06-09
申請公布號 CN106816506A 申請公布日 2017-06-09
分類號 H01L33/20(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉碩;劉治;萬小承 申請（專利權(quán)）人 廣東量晶光電科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 廣東量晶光電科技有限公司
地址 528000 廣東省佛山市南海區(qū)平洲金谷光電社區(qū)A座一、二樓廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種藍(lán)寶石襯底圖形化制作的方法，包括如下步驟：在藍(lán)寶石襯底上制作二維圖案；在二維圖案的藍(lán)寶石襯底上制作三維圖案。本發(fā)明通過兩次圖案制作，在可以實現(xiàn)藍(lán)寶石襯底的生長表面呈現(xiàn)周期性起伏分布的外延片，增加外延層的出光面積，可進一步提高氮化鎵基發(fā)光二極管的光功率。