一種可實(shí)時(shí)監(jiān)控坩堝內(nèi)剩余材料的蒸發(fā)源
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011591130.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112575307A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112575307A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 孫浩;李牧詞;茆勝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市智聯(lián)匯網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)企業(yè)（有限合伙） |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海洞鑒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉少偉 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道科豐路2號(hào)特發(fā)信息港D棟一樓東側(cè)2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明為涉及一種可實(shí)時(shí)監(jiān)控坩堝內(nèi)剩余材料的蒸發(fā)源，包括：坩堝主體在所述坩堝主體填充有物料；加熱模塊設(shè)置在所述坩堝主體的外側(cè)，用以加熱所述坩堝主體內(nèi)的物料；稱(chēng)重模塊設(shè)置在所述坩堝主體的下部，包括底座、稱(chēng)重傳感器、以及隔離層，所述稱(chēng)重傳感器固定在所述底座上，所述隔離層位于所述坩堝主體與稱(chēng)重傳感器之間；所述隔離層包括隔熱柱，所述隔熱柱的下端安裝固定在所述稱(chēng)重傳感器上，另一端用以支撐所述坩堝主體。有益效果是：通過(guò)稱(chēng)重模塊可精確監(jiān)控坩堝中剩余材料的實(shí)時(shí)精確監(jiān)控，一方面可有效提高材料的使用效率，避免浪費(fèi)，降低生產(chǎn)成本；另一方面可以避免生產(chǎn)過(guò)程中材料耗盡造成的工藝偏差及面板報(bào)廢問(wèn)題，有效提升良品率。?? |
